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黛爾特（北京）科技有限公司
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TCS208F和TCS208F3熱導(dǎo)氣體傳感器
- 產(chǎn)品名稱：TCS208F和TCS208F3熱導(dǎo)氣體傳感器
- 產(chǎn)品型號(hào)：TCS208F和TCS208F3-德國HLP
- 產(chǎn)品廠商：德國HLP-MEAS-TE
- 產(chǎn)品文檔：
TCS208F和TCS208F3熱導(dǎo)氣體傳感器
的詳細(xì)介紹泰科電子TE/德國HLP公司TCS208F和TCS208F3熱導(dǎo)氣體傳感器
TE泰科電子/德國HL Planar公司TCS208F/TCS208F3氣體熱導(dǎo)傳感器，采用先進(jìn)的MEMS微機(jī)械加工技術(shù)生產(chǎn)，利用被測組份和參考?xì)怏w的熱導(dǎo)系數(shù)不同和變化而響應(yīng)的濃度型傳感器。產(chǎn)品具有檢測范圍大、可靠性高、安裝方便、維護(hù)簡單等優(yōu)點(diǎn)?？蓮V泛應(yīng)用于天然氣，甲烷CH4、氫氣H2，二氧化碳CO2，一氧化碳CO，六氟化硫SF6，氨氣NH3和氦氣He等氣體成份檢測，也可用于測量非常小的氣體含量(濃度)變化。
TE泰科電子/德國HL Planar公司TCS208F和TCS208F3熱導(dǎo)率氣體傳感器元件由一個(gè)硅片組成，該硅片具有一層約1mm2的薄膜，該薄膜的材料具有非常好的電絕緣和熱絕緣性能。薄膜上有兩個(gè)薄膜電阻器,它們既用于加熱膜又用于測量膜溫度Tm。電阻器經(jīng)過鈍化處理，以保護(hù)它們免受氣體的影響。薄膜被二個(gè)小硅片完全覆蓋，硅片上蝕刻有一個(gè)矩形空腔。在薄膜上方形成的中空空間是導(dǎo)熱部分。氣體僅通過擴(kuò)散而非流動(dòng)通過膜蓋上的一個(gè)小橫向開口進(jìn)入測量部分。傳感器芯片及其蓋子連接到硅支撐件上，硅支撐件也允許氣體交換到膜的下側(cè)。傳感器通過金線接合電連接到八引腳底座。由于膜周圍氣體的熱導(dǎo)率l，熱能從保持在較高溫度Tm的膜中耗散。測量的是溫度穩(wěn)定電路中保持膜的過量溫度DT恒定所需的信號(hào)。
泰科電子TE/德國HLP公司TCS208F/TCS208F3氣體熱導(dǎo)傳感器特點(diǎn)
-
導(dǎo)熱系數(shù)氣體傳感器
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硅微機(jī)械學(xué)
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非常小的尺寸
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短時(shí)間常數(shù)
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極小氣體體積的測量
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擴(kuò)散氣體交換
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測量氫含量熱導(dǎo)率
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通過評(píng)估分析二元?dú)怏w
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二氧化碳與甲烷的測定
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天然氣判別
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氦氣或氙含量的測量
德國HLP公司TCS208F/TCS208F3熱導(dǎo)氣體傳感器應(yīng)用
泰科電子TE/德國HLP公司TCS208F/TCS208F3熱導(dǎo)氣體傳感器工作原理
泰科電子TE公司TCS208F傳感器上的四個(gè)電阻器Rm1、Rm2、Rt1和Rt2分別為分別連接到TO8型底座上的八個(gè)引腳。在TCS208F3上，Rm1和Rm2以及Rt1和Rt2串聯(lián)連接。圖1顯示了從傳感器側(cè)看的引腳分配。為了操作傳感器，建議向兩個(gè)膜電阻器Rm1和Rm2施加大致相等的加熱功率，以避免加熱表面上的溫度梯度。用于通過重新測量環(huán)境溫度的功率，電阻器Rt1和Rt2不應(yīng)超過電阻器Rm1和Rm2中耗散的功率，以避免加熱傳感器芯片。
泰科電子TE公司/德國HLP公司TCS208F/TCS208F3熱導(dǎo)氣體傳感器性能參數(shù)(參考溫度25℃)
|
參 數(shù) |
Mim.值 |
典型值 |
Max.值 |
單位 |
|
阻值Rm1，Rm2 |
92 |
100 |
115 |
Ω |
|
阻值 Rt1，Rt2 |
220 |
240 |
275 |
Ω |
|
比值Rtx / (Rm1+Rm2) | x ε {1,2} |
1.13 |
1.2 |
1.27 |
|
|
阻值差 Rm1 - Rm2 |
-2.00 |
|
+2.00 |
Ω |
|
溫度系數(shù)(Rm, Rt) |20°C–100°C |
4800 |
5500 |
5900 |
ppm/K |
|
膜熱時(shí)間常數(shù)(τm) |
|
＜5 |
|
ms |
|
氣體交換時(shí)間常數(shù) |
|
＜100 |
|
ms |
|
漂移| x ε {m,t} ; y ε {1,2} |
|
0.001 |
0.01 |
%week |
|
擴(kuò)散室空間 |
|
0.2 |
|
mm3 |
|
安裝空間 |
|
100 |
|
mm3 |
■ 額定參數(shù)
|
參 數(shù) |
Mim.值 |
典型值 |
Max.值 |
單位 |
|
加熱功率P(Rm1 + Rm2) |
|
|
30 |
mW |
|
膜片溫度Tm |
|
|
180 |
℃ |
|
環(huán)境溫度? |
-20 |
|
+85 |
℃ |
■ *佳工作參數(shù)
|
參 數(shù) |
Mim.值 |
典型值 |
Max.值 |
單位 |
|
加熱功率P (Rm1 + Rm2) |
|
|
5 |
mW |
|
膜片溫度變化 ΔT = Tm -? |
30 |
50 |
70 |
℃ |
|
測量介質(zhì) |
與Si，SiOxNy，Gold，Epoxy兼容氣體 |
|||
泰科電子TE公司TCS208F和TCS208F3熱導(dǎo)率氣體傳感器訂購信息
“TCS208F”熱導(dǎo)率氣體傳感器或“TCS208F3熱導(dǎo)氣體傳感器”，適用于可選的3只針腳版本。
