Xensor Integration是一家高科技公司，專注于使用計算機芯片技術(shù)制造MEMS傳感器（微機電系統(tǒng)）的定制設(shè)計、原型設(shè)計和生產(chǎn)。Xensor擁有一系列現(xiàn)成的標準MEMS熱導率氣體敏感元件和氣體傳感器。經(jīng)典的XEN-3880和XEN-3920熱導率氣體敏感元件和XEN-5320是一種智能氣體傳感器，在需要分析二元氣體混合物的工業(yè)中有著廣泛的應用。XEN-5320使用經(jīng)驗證的熱導率傳感器敏感元件XEN-3880，該氣體傳感器基于環(huán)境氣體的熱導率測量。XEN-3880、XEN-3920和XEN-5320應用包括皮拉尼真空計、氣體擴散率的檢測以及氫氣等二元氣體成分的含量測量。

Xensor Integration公司XEN-3880和XEN-3920熱導氣體敏感元件測量流經(jīng)其表面周圍氣體的熱導率。根據(jù)氣體熱導率不同的原理，它可用于測量二元混合物或準二元混合物中的氣體濃度，其中組分氣體具有不同的熱導率。它也可以用于測量真空系統(tǒng)中的壓力。熱導率敏感元件芯片由具有氮化硅膜（SiN）的硅框架組成，其中心是一個加熱器，由一個熱電堆傳感器陣列測量其溫度，敏感芯片測量環(huán)境氣體和膜中心之間的熱導率。薄膜頂部的硅蓋（Roof）和帶過濾器金屬篩網(wǎng)的焊接蓋（W）抑制了氣流流量敏感性。

Xensor Integration公司XEN-3880和XEN-3920熱導氣體敏感元件特征
?二元和準二元混合物中氣體的長期穩(wěn)定分析
?高靈敏度和分辨率
?工作溫度：-250°C至150°C
?濕度：0至95%RH，無冷凝
?使用Pt100（P2）或Pt1000（P3）元件進行溫度測量
?流量靈敏度可忽略不計
?環(huán)境溫度22°C和1 V電源

Xensor Integration公司XEN-3880和XEN-3920熱導氣體敏感元件區(qū)別：

1、XEN-3880-P2RW和XEN-3880-3RW熱導敏感元件：

1.1、XEN-3880敏感元件，帶硅蓋（Roof），單膜，PT100或PT1000溫度元件，帶5um金層的10針TO-5插針，帶金屬篩網(wǎng)的金屬管帽
1.2、XEN-3880-RW：XEN-3880傳感器元件，帶硅蓋（Roof），單膜，帶+/-0.8 um金層的6針TO-5插針，帶金屬篩網(wǎng)的金屬管帽
2、XEN-3920-P2RW和XEN-3920-P3RW熱導率敏感元件：
2.1、XEN-3920感應元件，帶硅蓋（Roof），雙膜，PT100或PT1000溫度元件，帶5um金層的10針TO-5插針，帶金屬篩網(wǎng)的金屬管帽

Xensor公司XEN-3880和XEN-3920熱導氣體敏感元件典型應用
?氫氣、氦氣和天然氣含量測量
?用氦氣測試氫氣系統(tǒng)
?包裝和真空系統(tǒng)中的真空測量
?氣體濃度測量
Xensor公司XEN-3880和XEN-3920熱導率氣體敏感元件工作原理
Xensor公司XEN-3880和XEN-3920熱導率氣體敏感元件通過使用加熱器電阻器加熱膜的中心來實現(xiàn)對薄膜中心的熱電堆的熱接點和芯片框架上的冷接點之間的熱阻進行測量。由此產(chǎn)生的中心的溫度升高通過熱電堆溫度傳感器陣列來測量。熱導率氣體敏感元件實際溫度升高取決于膜中心和環(huán)境氣體之間的有效熱阻，這些受到環(huán)境氣體熱阻的影響。