- 瑞士Simtec Buergel AG
- 美國(guó)Honeywell公司霍尼韋爾
- GE DRUCK德魯克公司
- 法國(guó)SBG SYSTEMS
- Delta Tech公司
- 芬蘭VAISALA公司
- 德國(guó)Messkonzept GmbH公司
- Xensor Integration
- 芬蘭DEKATI
- Jewell Instruments
- 美國(guó)ACES SYSTEMS
- WS Technologies
- Flight Data Systems公司
- PF FISHPOLE HOISTS
- Dukane Seacom
- 挪威Sensonor AS公司
- 荷蘭Xsens公司
- Canon Load Banks
- VIAVI/Aeroflex
- OPTI Manufacturing
- 芬蘭Labkotec Oy
- 德國(guó)Pro-chem Analytik GmbH
- 德國(guó)BD|SENSORS
- Aerofab NDT
- 美國(guó)PIXHAWK和TE和MEAS公司
- DESHONS HYDRAULIQUE
- 美國(guó)NTM Sensors公司
- Nissha FIS Inc.公司
- 美國(guó)New Avionics公司
- 愛(ài)爾蘭Innalabs
- KNESTEL Technologie
黛爾特（北京）科技有限公司
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XEN-393量熱計(jì)傳感器芯片
荷蘭Xensor Integration公司XEN-393量熱計(jì)傳感器
-快速掃描量熱計(jì)傳感器芯片
荷蘭Xensor Integration公司提供XEN-393是一系列微加工薄膜量熱計(jì)傳感器芯片，設(shè)計(jì)用于高溫掃描率下的小樣本測(cè)量。XEN-393系列采用鋁電極互連，這限制了它們的溫度范圍低于XEN-394系列，后者采用金電極互連。 該量熱計(jì)傳感器采用單面超薄氮化硅薄膜，具有對(duì)環(huán)境熱阻高、時(shí)間常數(shù)小等特點(diǎn)。這使得這些傳感器特別適用于氣體介質(zhì)環(huán)境中的測(cè)量和快速測(cè)量，如快速掃描量熱法。
荷蘭Xensor Integration公司XEN-393量熱計(jì)傳感器特征
- 加熱和冷卻速率高達(dá)1 MK/s
- 樣品溫度范圍寬，從-273°C到+500°C
荷蘭Xensor Integration公司XEN-393量熱計(jì)傳感器特征工作原理
量熱計(jì)芯片由一個(gè)薄膜組成，它懸浮在一個(gè)厚的硅基框架中。集成加熱器加熱膜的中部區(qū)域分布：傳感器芯片的樣品區(qū)，熱電堆測(cè)量樣品區(qū)的溫度。通過(guò)這種方式，被測(cè)樣品可經(jīng)受預(yù)定溫度分布，以便觀察樣品隨溫度變化的行為。
Xensor Integration公司XEN-393量熱計(jì)傳感器技術(shù)參數(shù)比較
XEN-39390：這是一個(gè)較小尺寸的樣品面積量熱計(jì)芯片，樣品面積約為30x30μm，具有兩個(gè)4線加熱器（偏置和保護(hù)加熱器）內(nèi)的6對(duì)熱電堆。
XEN-39391和XEN-39395：這是一種中等尺寸的樣品面積量熱計(jì)芯片，熱點(diǎn)面積約為60x60μm和60x70μm，具有兩個(gè)4線加熱器內(nèi)的6對(duì)熱電堆。
XEN-39392和XEN-39399 ：這些是較大尺寸的樣品面積量熱計(jì)芯片，樣品面積約為100x100μm，具有兩個(gè)4線加熱器內(nèi)的6對(duì)熱電堆。XEN-39399具有多晶硅覆蓋的樣品區(qū)域，以改善溫度均勻性。
XEN-39397和XEN-39398 ：這些是Max尺寸的樣品面積量熱計(jì)芯片。XEN-39398具有雙4線加熱器，樣品面積約為250x250μm，在兩個(gè)4線加熱器內(nèi)具有6對(duì)熱電堆。樣品區(qū)域被多晶硅覆蓋以改善溫度均勻性。XEN-39397有一個(gè)單4線加熱器和一個(gè)20對(duì)熱電堆，樣品面積為1000x1000μm，鋁覆蓋以改善溫度均勻性。
