Pirani皮拉尼真空計傳感器原理及用途

Pirani真空計傳感器工作原理分為兩種，一種是熱電偶式，另一種是惠斯通電橋式。Pirani真空計是一種熱導(dǎo)率計，通常也稱為“熱傳導(dǎo)式熱量計”。在Pirani真空測量儀中，熱傳遞速率是真空系統(tǒng)中存在的氣體分子數(shù)量的函數(shù)。Pirani真空壓力計能夠在各種真空技術(shù)應(yīng)用中提供可靠的壓力測量。

Pirani真空計傳感器的工作原理是什么？皮拉尼真空計傳感器包含一個加熱部件，如加熱絲或薄膜膜（見右圖），通常通過使用橋接電路將其加熱至高溫。當(dāng)氣體分子密度發(fā)生變化時，熱量從金屬絲傳遞到氣體會受到影響。這種熱損失取決于氣體類型和壓力，使金屬絲保持在溫度下所需的能量也相應(yīng)變化。因此，能量的量取決于真空壓力，并且可以轉(zhuǎn)換為壓力值。準(zhǔn)確的真空壓力測量取決于橋接電路對傳感器溫度保持非常準(zhǔn)確控制的能力。常見的技術(shù)是使用惠斯通電橋電路。在Pirani電橋橋電路的一種設(shè)計中，通過電子反饋回路將橋的兩個支路控制在相同的電壓下。然后，測量技術(shù)是對將加熱的傳感器保持在高于環(huán)境溫度的給定溫度所需的功率進行定量。

在使用加熱傳感器金屬絲的儀表的情況下，有三種主要的熱損失途徑：通過金屬絲及其支架的整體熱傳導(dǎo)、輻射損失和通過氣體的熱傳導(dǎo)損失。因此，精心設(shè)計的Pirani真空計傳感器很大限度地減少了由于輻射和整體熱傳導(dǎo)造成的信號損失。輻射損失強烈地（四次方）取決于加熱傳感器的溫度。因此，當(dāng)操作Pirani測量儀時，重要的是將傳感器保持在足夠低的溫度，使得輻射損失機制不會主導(dǎo)整個信號。同樣，精心設(shè)計的Pirani真空測量儀通過傳感器敏感元件很大限度地降低了整體熱導(dǎo)率。對于輻射和整體熱導(dǎo)率損失，損失系數(shù)取決于溫度。

Pirani皮拉尼真空計傳感器有哪些應(yīng)用？許多Pirani真空傳感器測量從1毫托（0.133 Pa）以下到大氣壓的壓力，是各種應(yīng)用的良好選擇：Pirani真空計傳感器用于監(jiān)測從大氣到高真空區(qū)域開始的泵送過程（渦輪分子泵或其他高真空泵接管該區(qū)域）、在真空冶金行業(yè)（在受控環(huán)境中制造的高純度合金），Pirani真空計傳感器可確保不同薄膜涂層系統(tǒng)的工藝一致性和優(yōu)化。冷凍干燥機和真空干燥機經(jīng)常在真空區(qū)域運行，該區(qū)域非常適合Pirani真空計以及冷卻系統(tǒng)（空調(diào)、制冰機和制冷）的制造和維護。各種分析儀器需要毫托mTorr區(qū)域及以下的真空水平，Pirani皮拉尼真空測量儀通常是這些應(yīng)用中很具成本效益的儀器。

皮拉尼真空計傳感器常見問題：Pirani真空計的一些很佳實踐是什么？Pirani真空計儀表沒有活動部件，通常不需要維護。但應(yīng)該注意的是，這種類型的真空儀表容易受到污染，尤其是在油基泵送系統(tǒng)中。在有污染的系統(tǒng)中，儀表管的安裝應(yīng)使端口朝下，以減少管內(nèi)的油積聚。對流驅(qū)動的Pirani真空計應(yīng)始終安裝在圓柱軸平行于地板的位置。未能正確安裝這種類型的儀表將導(dǎo)致讀數(shù)錯誤，超過粗略的真空水平。如果真空系統(tǒng)有過多的油蒸氣或其他污染物，可以使用分子篩過濾器來延長儀表的使用壽命。

XEN-3880-RW皮拉尼真空計傳感器：XEN-3880對薄膜中心的熱電堆的熱接點和芯片框架上的冷接點之間的熱阻進行測量。這是通過使用加熱器電阻器加熱膜的中心來實現(xiàn)的。由此產(chǎn)生的中心溫度升高通過熱電堆來測量。實際溫度升高取決于膜中心和環(huán)境之間的有效熱阻，這受到環(huán)境氣體熱阻的影響。XEN-3880-RW安裝在6引腳TO-5上金屬基座上。