SF6六氟化硫傳感器檢測技術(shù)

SF6傳感器的檢測技術(shù)之一：微流熱導(dǎo)技術(shù)

熱導(dǎo)原理SF6純度傳感器根據(jù)被測SF6氣體和背景氣體的熱導(dǎo)率數(shù)不同來計算其中SF6氣體組份的含量。當(dāng)敏感元件吸附被測氣體時，熱導(dǎo)率發(fā)生變化，通過調(diào)理電路將熱導(dǎo)系數(shù)變化轉(zhuǎn)為電壓變化，據(jù)此可檢測氣體中濃度或含量。熱導(dǎo)法主要應(yīng)用在高壓絕壓開關(guān)內(nèi)的六氟化硫純度分析（90%-100%Vol.）。TCD-SF6傳感器量程是0-100Vol.管道式傳感器，可以用于高壓開關(guān)內(nèi)的六氟化硫傳感器純度檢測。SF6純度傳感器主要用于測量SF6與空氣、SF6與N2混合氣體的SF6氣體純度（百分含量）。六氟化硫純度分析儀器采用目前世界上先進的恒溫的微型熱導(dǎo)池，可快速準(zhǔn)確地測出SF6純度（百分含量），一般情況下，壽命可達8-10年。

采用非分散紅外（NDIR）原理的六氟化硫純度傳感器測量SF6濃度在95%以上時，由于信號趨于飽和，數(shù)值具有很大的波動性，同時重復(fù)差，無法滿足高壓開關(guān)內(nèi)六氟化硫純度高精度測試的要求。SF6-100熱導(dǎo)式傳感器是采用MEMS技術(shù)設(shè)計的一款SF6氣體純度傳感器，通過直接測量氣體熱導(dǎo)率方式運行，內(nèi)部沒有加熱燈絲，也不需要參考氣。SF6-100傳感器沒有采用傳統(tǒng)的大功率的恒溫氣室設(shè)計，而采用獨特溫度補償?shù)乃惴ǎ稍?40℃~+85℃下保證測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性，且波動性很小。傳感器同時功耗只有0.15W，是傳統(tǒng)的熱導(dǎo)原理傳感器的1/20。SF6-100傳感器同時對濕度進行修正，達到±1%FS測量精度。

SF6-100采用的專有的精密的電路設(shè)計，T90響應(yīng)時間（@1000ml/分鐘）非?？欤挥?秒，達到讀數(shù)穩(wěn)定的時間T100為8秒，而傳統(tǒng)的熱導(dǎo)傳感器需要120~150秒。SF6-100無需加熱恒溫的等待（至少30分鐘加熱時間），從開機到測量工作結(jié)束大約需要在2分鐘內(nèi)完成，極大地提高了測量效率。SF6-100的體積小、低功耗和重量輕（約150g）的特點，非常適合集成便攜式SF6儀表內(nèi)。

低功耗快速響應(yīng)SF6傳感器產(chǎn)品優(yōu)點

• 無需加熱恒溫等待，即插即用
• 低功耗，約0.15W
• 快速響應(yīng)，約3秒(T90，@1.0L/min.)。
• 外形尺寸小、重量輕(150g)
• 溫度和濕度修正補償
• 同時測量六氟化硫(SF6)濃度、相對濕度（RH）和溫度三個參數(shù)
• 0.5~2.5VDC和5V TTL輸出
• -40~+85℃寬的工作溫度范圍
• 長達10+年的使用壽命
• 精度高，重復(fù)性好，波動小，適合純度測量

非分散紅外NDIR六氟化硫傳感器采用雙光束非分光紅外線(NDIR)檢測技術(shù)。設(shè)有測量通道和參考通道,分別加裝不同波長的濾光片，使之獲得不同波長的紅外光，測量通道內(nèi)波長位于10.55微米SF6的吸收峰上，參考通道則不在SF6的吸收范圍內(nèi)（4.96微米）。檢測通過兩個通道的紅外光，并做對比調(diào)制，比值即表征了被測氣體中的SF6濃度。適合在線SF6泄漏監(jiān)測（0-1500 ppm）和手持式定量SF6檢漏儀(0-50 ppm)。非分散紅外原理六氟化硫傳感器不太適合應(yīng)用SF6純度測試（90%Vol.~100%Vol.），主要原因是SF6分子吸收比較強，測試波動度大。

與單波長單光束相比，雙波長雙光束技術(shù)可以避免因為光源的老化、采樣池和檢測器表面污染而引起的漂移。參比通道的被調(diào)制的特定波長的單色光不會對被測量氣體產(chǎn)生吸收。 它產(chǎn)生一個穩(wěn)定的信號，此信號只受外部影響而變化，不受被測量氣體影響。