大氣數(shù)據(jù)測試儀中壓力傳感器的原理

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目前全世界范圍內(nèi)，在市場上有多家公司生產(chǎn)和銷售大氣數(shù)據(jù)測試儀和動(dòng)靜壓測試儀。動(dòng)靜壓測試儀和大氣數(shù)據(jù)測試儀和內(nèi)部所使用的壓力傳感器可以分為：溝槽刻蝕硅諧振壓力傳感器（TERPS）、石英諧振壓力傳感器、振筒式壓力傳感器和MEMS硅壓阻傳感器。我們下面就對(duì)這幾種原理傳感器的大氣數(shù)據(jù)測試儀的精度和漂移進(jìn)行一個(gè)簡單的總結(jié)。

一、溝槽刻蝕硅諧振和石英諧振壓力傳感器的大氣數(shù)據(jù)測試儀

目前世界上只有2-3家公司掌握這種高精度壓力傳感器技術(shù)。壓力傳感器的精度為0.01%FS，年漂移為0.005%左右。此大氣數(shù)據(jù)測試儀能夠滿足*新的RVSM標(biāo)準(zhǔn)，普遍為用戶接受的航空地面支持設(shè)備。

二、振筒式壓力傳感器的大氣數(shù)據(jù)測試儀

許多公司都能夠生產(chǎn)出振筒式壓力傳感器，精度為0.01%FS,年漂移也為0.005%左右，傳感器時(shí)間越長，性能月穩(wěn)定。但是振筒式壓力傳感器的大氣數(shù)據(jù)測試儀有內(nèi)在無法克服的缺陷。

1.由振筒壓力傳感器原理可知，它本身不直接測量壓力（壓強(qiáng)），實(shí)際上是一只“密度”傳感器。介質(zhì)密度對(duì)壓力的測量有很大的影響，振筒壓力傳感器對(duì)介質(zhì)密度很敏感，空氣、合成空氣、氮?dú)饣驖窨諝饨橘|(zhì)對(duì)壓力測量都有影響。

2.此原理的壓力傳感器需要用濕度傳感器來做補(bǔ)償，但濕度傳感器也有漂移，需要定期校準(zhǔn)。

三、MEMS硅壓阻壓力傳感器的大氣數(shù)據(jù)測試儀

MEMS硅壓阻壓力傳感器可以批量制造，成本相對(duì)較低。其精度一般在0.05%FS，年漂移為0.025%左右。硅壓阻壓力傳感器的大氣數(shù)據(jù)測試儀在1年的內(nèi)時(shí)間內(nèi)很難滿足RVSM標(biāo)準(zhǔn)。