Xensor Integration是一家高科技公司，專注于使用計算機芯片技術制造MEMS傳感器（微機電系統(tǒng)）的定制設計、原型設計和生產(chǎn)。Xensor擁有一系列現(xiàn)成的標準MEMS熱導率氣體敏感元件和氣體傳感器。經(jīng)典的XEN-3880和XEN-3920熱導率氣體敏感元件和XEN-5320是一種智能氣體傳感器，在需要分析二元氣體混合物的工業(yè)中有著廣泛的應用。該傳感器基于環(huán)境氣體的熱導率測量，使用經(jīng)驗證的熱導率傳感器XEN-3880。XEN-3880和XEN-5320應用包括皮拉尼真空計、氣體擴散率的檢測以及氫氣等二元氣體成分的測量。

XEN-5320熱導率氣體傳感器特征

• 二元和準二元混合物中氣體的長期穩(wěn)定分析
• 快速響應和數(shù)據(jù)更新率
• 高靈敏度和分辨率
• 使用壽命長，維護成本低
• 流量效應補償設計
• 溫度和濕度校正輸出
• 允許用戶調零和滿程校準
• 用戶可配置的輸出校準曲線
• LabView讀取和編程軟件
• 通過USB、CAN或模擬輸出讀取
• 符合RoHS
• CE和FCC認證

  

一、Xensor公司XEN-5320熱導率氣體傳感器特征

1、XEN-5320-ALU-CAN氣體傳感器：非常適合具有多個測量點且需要易于放置傳感器的安裝。CAN總線可確保在使用多個設備時降低布線和安裝靈活性。

2、XEN-5320-ALU-USB氣體傳感器：適用于具有少量測量點和評估測試目的的裝置。USB和模擬接口可以確保MEMS傳感器快速設置，無需額外的附件。

3、Xensor Integration公司XEN-85030氣體傳感器:幫助用戶使用參考氣體進行校準，并放置遠程氣體傳感。通氣孔與鋁外殼兼容。

4、XEN-5320-HP-CAN耐壓力氣體傳感器：適用于具有G3/8 BSPP安裝螺紋的高壓環(huán)境和安裝。CAN總線可確保在使用多個傳感器時降低布線和安裝靈活性。

5、XEN-5320-HP-USB-ANA耐壓力氣體傳感器：適用于具有少量測量點和評估目的的安裝。USB和模擬接口可以確保快速設置，無需額外的附件。

二、Xensor Integration公司XEN-3880和XEN-3920熱導氣體敏感元件

XEN-3880和XEN-3920熱導氣體敏感元件測量流經(jīng)其表面周圍氣體的熱導率。根據(jù)氣體熱導率不同的原理，它可用于測量二元混合物或準二元混合物中的氣體濃度，其中組分氣體具有不同的熱導率。它也可以用于測量真空系統(tǒng)中的壓力。熱導率敏感元件芯片由具有氮化硅膜（SiN）的硅框架組成，其中心是一個加熱器，由一個熱電堆傳感器陣列測量其溫度，敏感芯片測量環(huán)境氣體和膜中心之間的熱導率。薄膜頂部的硅蓋（Roof）和帶過濾器金屬篩網(wǎng)的焊接蓋（W）抑制了氣流流量敏感性。

1、XEN-3880和XEN-3920熱導氣體敏感元件特征
?二元和準二元混合物中氣體的長期穩(wěn)定分析
?高靈敏度和分辨率
?工作溫度：-250°C至150°C
?濕度：0至95%RH，無冷凝
?使用Pt100（P2）或Pt1000（P3）元件進行溫度測量
?流量靈敏度可忽略不計
?環(huán)境溫度22°C和1 V電源

2、XEN-3880和XEN-3920熱導氣體敏感元件區(qū)別：

2.1、XEN-3880-P2RW和XEN-3880-3RW熱導敏感元件：

2.1.1、XEN-3880敏感元件，帶硅蓋（Roof），單膜，PT100或PT1000溫度元件，帶5um金層的10針TO-5插針，帶金屬篩網(wǎng)的金屬管帽
2.1.2、XEN-3880-RW：XEN-3880傳感器元件，帶硅蓋（Roof），單膜，帶+/-0.8 um金層的6針TO-5插針，帶金屬篩網(wǎng)的金屬管帽
2.2、XEN-3920-P2RW和XEN-3920-P3RW熱導率敏感元件：
2.2.1、XEN-3920感應元件，帶硅蓋（Roof），雙膜，PT100或PT1000溫度元件，帶5um金層的10針TO-5插針，帶金屬篩網(wǎng)的金屬管帽

Xensor提供了兩種類型的納米量熱計芯片，一種是基于較厚的單晶硅膜，另一種是以薄氮化硅膜為基礎。前一種類型具有較低的隔熱性，但非常堅固，非常適合用于液體和慢速應用（XEN-LCM2506、XEN-LCMquad、XEN-NCM9924）。它們在“Nano-cals”文件中有描述。

基于約1μm的厚度SiN膜的類型在本文件中進行了描述。它們很脆弱，但隔離性很好，速度很快，因此更適合應用于氣體環(huán)境和快速測量，如快速掃描量熱法。本文件中描述的所有芯片的外部尺寸均為3.33 x2.50毫米，厚度0.3毫米，XEN-39397除外，其尺寸為5.0×3.3毫米。

Xensor Integration公司XEN-39390熱量計|量熱計敏感元件簡要技術參數(shù)

然而，為了不破壞高熱阻，熱電堆陣列溫度傳感器在1-5 mV/K的這些器件中通常不太敏感。因此，在空氣中的總體靈敏度為10-100V/W的數(shù)量級，比硅膜芯片高大約一個數(shù)量級。下面我們將首先給出一些關于薄膜量熱計芯片和快速掃描量熱計的背景信息。然后，我們將提供各種可用設備的技術數(shù)據(jù)，并提供設備的照片和一些細節(jié)。